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蒸发、磁控溅射沉积真空对铀薄膜组成和结构的影响

来源期刊：材料导报2001年第7期

论文作者：吕学超鲜晓斌伏晓国任大鹏

关键词：沉积真空; 铀薄膜; 组成; 结构;

摘要：用X-光电子能谱仪(XPS)、扫描透射电镜(STEM)分析了蒸发、磁控溅射沉积真空对铀薄膜组成和结构的影响。结果表明，在沉积真空2Pa下，蒸发、磁控溅射沉积的铀薄膜已完全氧化；在沉积真空2×10-1Pa下，磁控溅射沉积的铀薄膜由金属铀和二氧化铀组成，薄膜呈微晶或无定形结构。

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吕学超¹，鲜晓斌¹，伏晓国¹，任大鹏¹

(1.中国工程物理研究院,)

摘要:用X-光电子能谱仪(XPS)、扫描透射电镜(STEM)分析了蒸发、磁控溅射沉积真空对铀薄膜组成和结构的影响。结果表明，在沉积真空2Pa下，蒸发、磁控溅射沉积的铀薄膜已完全氧化；在沉积真空2×10-1Pa下，磁控溅射沉积的铀薄膜由金属铀和二氧化铀组成，薄膜呈微晶或无定形结构。

关键词:沉积真空; 铀薄膜; 组成; 结构;

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