液相沉积法制备氧化物薄膜
来源期刊：功能材料2000年第4期
论文作者：胡行方 高濂 王晓萍 于云
关键词：液相沉积; 湿化学法; 薄膜;
摘 要：本文介绍了一种新的湿化学成膜法一液相沉积法,对液相沉积法制备氧化物薄膜的原理、工艺流程及成膜的种类和性能进行了详细阐述,并概述了其发展和应用前景.
胡行方1，高濂1，王晓萍1，于云1
(1.中国科学院上海硅酸盐研究所,上海,200050)
摘要:本文介绍了一种新的湿化学成膜法一液相沉积法,对液相沉积法制备氧化物薄膜的原理、工艺流程及成膜的种类和性能进行了详细阐述,并概述了其发展和应用前景.
关键词:液相沉积; 湿化学法; 薄膜;
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