微波液相沉积法制备二氧化钛薄膜
来源期刊：材料导报2006年增刊第1期
论文作者：同小刚 冯海涛 王芬
关键词：微波液相沉积法; TiO2; 薄膜; 低温制备;
摘 要：采用微波液相沉积法(MWLPD),在低温下制备出了性能优异的锐钛矿型TiO2薄膜.通过XRD、SEM分析手段研究了薄膜和粉体的结晶度、晶粒尺寸、表面形貌等.实验结果表明,所得薄膜不仅具有良好的结晶形貌、表面形貌及可见光透过率,还具有特殊的表面凸起结构,能有效提高薄膜的比表面积,有助于提高TiO2薄膜的光催化性能.且整个制备过程无需热处理,成膜周期短,效率较高.
同小刚1，冯海涛1，王芬1
(1.陕西科技大学材料科学与工程学院,咸阳,712081)
摘要:采用微波液相沉积法(MWLPD),在低温下制备出了性能优异的锐钛矿型TiO2薄膜.通过XRD、SEM分析手段研究了薄膜和粉体的结晶度、晶粒尺寸、表面形貌等.实验结果表明,所得薄膜不仅具有良好的结晶形貌、表面形貌及可见光透过率,还具有特殊的表面凸起结构,能有效提高薄膜的比表面积,有助于提高TiO2薄膜的光催化性能.且整个制备过程无需热处理,成膜周期短,效率较高.
关键词:微波液相沉积法; TiO2; 薄膜; 低温制备;
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