TiN硬质薄膜制备技术的研究进展
来源期刊：粉末冶金工业2016年第1期
论文作者：王洪涛 李宏
文章页码：60 - 63
关键词：TiN;硬质薄膜;制备;
摘 要：TiN硬质薄膜因其优良性能而得到广泛应用。介绍了几种制备TiN硬质薄膜的新方法,分析了制备机理及其工艺特点,并展望了硬质薄膜制备技术的发展方向。
王洪涛，李宏
北京科技大学天津学院
摘 要：TiN硬质薄膜因其优良性能而得到广泛应用。介绍了几种制备TiN硬质薄膜的新方法,分析了制备机理及其工艺特点,并展望了硬质薄膜制备技术的发展方向。
关键词：TiN;硬质薄膜;制备;
