简介概要

氮化钛硬质薄膜的制备方法

来源期刊：材料导报2006年增刊第1期

论文作者：熊惟皓晏鲜梅

关键词：氮化钛; 硬质薄膜; 制备;

摘要：随着新工艺和新技术的不断出现,涂层方法越来越多,膜的种类也层出不穷.氮化钛薄膜因具有许多优良的性能而得到了广泛的应用.介绍了几种制备氮化钛硬质薄膜的新方法、形成机理以及其优缺点,并展望了今后的涂层方法的发展.

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熊惟皓¹，晏鲜梅¹

(1.华中科技大学模具技术国家重点实验室,武汉,430074)

摘要:随着新工艺和新技术的不断出现,涂层方法越来越多,膜的种类也层出不穷.氮化钛薄膜因具有许多优良的性能而得到了广泛的应用.介绍了几种制备氮化钛硬质薄膜的新方法、形成机理以及其优缺点,并展望了今后的涂层方法的发展.

关键词:氮化钛; 硬质薄膜; 制备;

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