还原炉生产多晶硅常见问题及对策探讨
来源期刊：有色冶金节能2015年第3期
论文作者：孙强 严大洲 汤传斌 万烨
文章页码：55 - 59
关键词：多晶硅;还原炉;工艺;硅芯;倒炉;
摘 要：在使用改良西门子法生产多晶硅的过程中,还原生产工艺是最关键的工艺,而还原炉运行成功与否最终关系到生产成本和企业效益。通过对启炉及运行过程中硅芯倒伏、倒炉、电器与设备故障等问题进行总结和分析,发现硅芯质量与安装水平、系统常规检查与维护、以及工艺控制水平和精细化程度等是影响还原炉运行成功率的主要原因,本文对问题控制方法进行了探讨,以期为提高还原炉运行稳定性提供参考。
孙强，严大洲，汤传斌，万烨
中国恩菲工程技术有限公司
摘 要：在使用改良西门子法生产多晶硅的过程中,还原生产工艺是最关键的工艺,而还原炉运行成功与否最终关系到生产成本和企业效益。通过对启炉及运行过程中硅芯倒伏、倒炉、电器与设备故障等问题进行总结和分析,发现硅芯质量与安装水平、系统常规检查与维护、以及工艺控制水平和精细化程度等是影响还原炉运行成功率的主要原因,本文对问题控制方法进行了探讨,以期为提高还原炉运行稳定性提供参考。
关键词：多晶硅;还原炉;工艺;硅芯;倒炉;
