基于Fluent对多晶硅还原炉的三维数值模拟及其优化
来源期刊：有色冶金节能2011年第4期
论文作者：姚心 汪绍芬 严大洲
文章页码：48 - 108
关键词：多晶硅还原炉;数值模拟;Fluent;
摘 要：基于Fluent仿真计算平台,对多晶硅还原炉进行了三维数值模拟,得到了还原炉内部的流场、温度分布,其结果与现场运行情况基本吻合;结合其模型,对现场运行中影响多晶硅产量、质量和安全生产的一系列问题进行了探讨,提出了在还原炉结构、进气气量、进气方式、硅芯高度、冷却系统等方面的优化思路,可以为设计和操作人员改进设计和控制提供理论指导。
姚心，汪绍芬，严大洲
中国恩菲工程技术有限公司
摘 要：基于Fluent仿真计算平台,对多晶硅还原炉进行了三维数值模拟,得到了还原炉内部的流场、温度分布,其结果与现场运行情况基本吻合;结合其模型,对现场运行中影响多晶硅产量、质量和安全生产的一系列问题进行了探讨,提出了在还原炉结构、进气气量、进气方式、硅芯高度、冷却系统等方面的优化思路,可以为设计和操作人员改进设计和控制提供理论指导。
关键词：多晶硅还原炉;数值模拟;Fluent;
