简介概要

数值建模在电子级多晶硅制备中的应用

来源期刊：云南冶金2019年第3期

论文作者：马启坤赵桂洁宋东明陈丽娟

文章页码：65 - 69

关键词：电子级多晶硅;还原炉;数值建模;还原运行曲线;

摘要：利用化工模拟软件建立还原炉数值模型,通过还原炉炉内在各种条件下的温度场、流场模拟测试,得出最佳的运行工艺参数,形成完整的还原运行曲线。经实践检验,利用模拟工具得出的运行参数有利于电子级多晶硅的制备,建模工作在电子级多晶硅的生产上取得了很好的效果。

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马启坤^1,2，赵桂洁^3,4，宋东明^3,4，陈丽娟^3,4

1. 昆明冶金研究院2. 云南省选冶新技术重点实验室4. 云南省光电子硅材料制备技术企业重点实验室

关键词：电子级多晶硅;还原炉;数值建模;还原运行曲线;