无定形铌氧化膜的优化生长及机理分析
来源期刊：稀有金属材料与工程2005年第8期
论文作者：高勇 李春光 董宁利
关键词：铌电容器; 氧化膜; XPS分析;
摘 要：铌是用于制造电解电容器的优质材料,但在进行电解反应生长无定形Nb2O5电介质膜层的过程中会同时生成2种低价态的铌的氧化物(NbO,NbO2),影响了铌电容器的性能.本研究通过对影响无定形铌氧化膜生长的各种条件进行对比实验,并就生长机理进行了深入分析,较好地控制了氧化膜中3种氧化物的相对含量,改善了铌电容器的性能.
高勇1，李春光1，董宁利2
(1.西安理工大学,陕西,西安,710048;
2.宁夏星日电子股份有限公司,宁夏,石嘴山,753000)
摘要:铌是用于制造电解电容器的优质材料,但在进行电解反应生长无定形Nb2O5电介质膜层的过程中会同时生成2种低价态的铌的氧化物(NbO,NbO2),影响了铌电容器的性能.本研究通过对影响无定形铌氧化膜生长的各种条件进行对比实验,并就生长机理进行了深入分析,较好地控制了氧化膜中3种氧化物的相对含量,改善了铌电容器的性能.
关键词:铌电容器; 氧化膜; XPS分析;
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