温度对BCl3-CH4-H2化学气相沉积掺硼碳沉积过程的影响（英文）
来源期刊：材料导报2010年第14期
论文作者：叶昉 张立同 成来飞 赵春年 王鹏飞
文章页码：108 - 226
关键词：掺硼碳;表观活化能;反应控制机制;
摘 要：以三氯化硼、甲烷和氢气的混合气体为前驱体,利用磁悬浮天平热重系统研究了850～1200℃区间内化学气相沉积掺硼碳的原位动力学。探索了温度对沉积速率的影响,计算了该温度区间内沉积过程的表观活化能,同时借助SEM和EDS技术,测试了不同温度点(900℃、1000℃、1100℃和1200℃)沉积产物的微观结构和成分。结果表明,化学气相沉积掺硼碳属于典型的热激活反应过程;在所研究的温度区间内存在5种不同的反应控制机制;随着温度的升高,沉积产物的n(B)/n(C)和堆积密度都显著变小,说明高n(B)/n(C)和高致密度的掺硼碳涂层应在较低的温度下制备。
叶昉，张立同，成来飞，赵春年，王鹏飞
西北工业大学超高温结构复合材料国防科技重点实验室
摘 要：以三氯化硼、甲烷和氢气的混合气体为前驱体,利用磁悬浮天平热重系统研究了850～1200℃区间内化学气相沉积掺硼碳的原位动力学。探索了温度对沉积速率的影响,计算了该温度区间内沉积过程的表观活化能,同时借助SEM和EDS技术,测试了不同温度点(900℃、1000℃、1100℃和1200℃)沉积产物的微观结构和成分。结果表明,化学气相沉积掺硼碳属于典型的热激活反应过程;在所研究的温度区间内存在5种不同的反应控制机制;随着温度的升高,沉积产物的n(B)/n(C)和堆积密度都显著变小,说明高n(B)/n(C)和高致密度的掺硼碳涂层应在较低的温度下制备。
关键词：掺硼碳;表观活化能;反应控制机制;
