钢基体中碳与铁对化学气相沉积TiN动力学的影响
来源期刊：钢铁研究学报1999年第5期
论文作者：王豫
关键词：氮化钛; 化学气相沉积; 涂层;
摘 要：研究了在碳含量不同的钢基体上化学气相沉积TiN的沉积速率.研究结果表明,随着钢中碳含量的提高,沉积速率呈线性增长,涂层硬度也随碳含量的增加而提高.基于铁的触媒作用,推导出TiN的沉积速率方程为V=h1+K1×x(C);对于碳含量较高的Cr12MoV钢和碳含量较低的20钢基体,测得TiN沉积表面过程表观活化能分别为165.11kJ/mol和120.38kJ/mol.钢中合金元素对TiN沉积速率的影响可忽略.
王豫1
(1.华东冶金学院冶金工程系,马鞍山,243002)
摘要:研究了在碳含量不同的钢基体上化学气相沉积TiN的沉积速率.研究结果表明,随着钢中碳含量的提高,沉积速率呈线性增长,涂层硬度也随碳含量的增加而提高.基于铁的触媒作用,推导出TiN的沉积速率方程为V=h1+K1×x(C);对于碳含量较高的Cr12MoV钢和碳含量较低的20钢基体,测得TiN沉积表面过程表观活化能分别为165.11kJ/mol和120.38kJ/mol.钢中合金元素对TiN沉积速率的影响可忽略.
关键词:氮化钛; 化学气相沉积; 涂层;
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