非极性GaN用r面蓝宝石衬底
来源期刊：无机材料学报2009年第4期
论文作者：苏良碧 毕群玉 李红军 程艳 徐军 杨新波 周国清
关键词：r面蓝宝石; 非极性GaN; 衬底;
摘 要：采用温梯法生长了非极性GaN外延衬底r(0112)面蓝宝石,使用化学机械抛光加工衬底表面,对衬底的结晶质量、光学性能和加工质量进行了研究.结果显示r面蓝宝石衬底基本性能参数如下:平均半峰宽值为19.4arcsec;位错密度为5.6×103cm-2,波长大于300nm时的平均透过率大于80%;光学均匀性△n=6.6×10-5;平均表面粗糙度为0.49nm.结果表明,温梯法生长的r(0112)面蓝宝石衬底结晶质量好、位错密度低、光学性能优良、加工的表面质量高,达到了GaN外延衬底的标准.
苏良碧1，毕群玉2，李红军1，程艳2，徐军1，杨新波1，周国清2
(1.中国科学院,上海硅酸盐研究所,透明光功能无机材料重点实验室,上海,201800;
2.中国科学院,上海光学精密机械研究所,上海,201800;
3.中国科学院,研究生院,北京,100049)
摘要:采用温梯法生长了非极性GaN外延衬底r(0112)面蓝宝石,使用化学机械抛光加工衬底表面,对衬底的结晶质量、光学性能和加工质量进行了研究.结果显示r面蓝宝石衬底基本性能参数如下:平均半峰宽值为19.4arcsec;位错密度为5.6×103cm-2,波长大于300nm时的平均透过率大于80%;光学均匀性△n=6.6×10-5;平均表面粗糙度为0.49nm.结果表明,温梯法生长的r(0112)面蓝宝石衬底结晶质量好、位错密度低、光学性能优良、加工的表面质量高,达到了GaN外延衬底的标准.
关键词:r面蓝宝石; 非极性GaN; 衬底;
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