抛光垫在蓝宝石衬底化学机械抛光中的应用研究
来源期刊：机械设计与制造2009年第8期
论文作者：周海 王黛萍 王兵 陈西府 冶远祥
文章页码：88 - 90
关键词：蓝宝石;衬底片;化学机械抛光;抛光垫;
摘 要：在分析化学机械抛光中常用抛光垫的材质、性能、表面结构基础上,研究了抛光垫对蓝宝石衬底抛光质量的影响规律:材质硬的抛光垫可提高衬底的平面度;材质软的抛光垫可改善衬底的表面粗糙度;表面开槽的抛光垫可提高抛光效率;表面粗糙的抛光垫可提高抛光效率;对抛光垫进行适当的修整可使抛光垫表面粗糙;用聚氨酯类抛光垫能够使得蓝宝石衬底的抛光面小于0.3nm的表面粗糙度。
周海1，王黛萍1，王兵1，陈西府1，冶远祥2
1. 盐城工学院2. 兴化祥盛光电子材料公司
摘 要：在分析化学机械抛光中常用抛光垫的材质、性能、表面结构基础上,研究了抛光垫对蓝宝石衬底抛光质量的影响规律:材质硬的抛光垫可提高衬底的平面度;材质软的抛光垫可改善衬底的表面粗糙度;表面开槽的抛光垫可提高抛光效率;表面粗糙的抛光垫可提高抛光效率;对抛光垫进行适当的修整可使抛光垫表面粗糙;用聚氨酯类抛光垫能够使得蓝宝石衬底的抛光面小于0.3nm的表面粗糙度。
关键词：蓝宝石;衬底片;化学机械抛光;抛光垫;
