蓝宝石衬底的化学机械抛光工艺研究
来源期刊：超硬材料工程2007年第4期
论文作者：赵之雯
文章页码：52 - 55
关键词：蓝宝石;化学机械抛光;纳米二氧化硅溶胶;
摘 要：对蓝宝石衬底片的化学机械抛光进行了研究。系统地分析了蓝宝石抛光工艺过程的性能参数,通过大量实验,总结出了其影响因素并提出了优化方案。结果表明,采用粒径为40nm、低分散度的二氧化硅溶胶磨料并配合以适当参数进行抛光,可以获得良好的表面状态和较高的去除速率。能够有效地提高蓝宝石表面的性能及加工效率。
赵之雯
福建工程学院电子信息与电气工程系 福建福州350014
摘 要：对蓝宝石衬底片的化学机械抛光进行了研究。系统地分析了蓝宝石抛光工艺过程的性能参数,通过大量实验,总结出了其影响因素并提出了优化方案。结果表明,采用粒径为40nm、低分散度的二氧化硅溶胶磨料并配合以适当参数进行抛光,可以获得良好的表面状态和较高的去除速率。能够有效地提高蓝宝石表面的性能及加工效率。
关键词：蓝宝石;化学机械抛光;纳米二氧化硅溶胶;
