氩气压强对PET基磁控溅射银膜结构及导电性能的影响
来源期刊：材料导报2006年增刊第2期
论文作者：魏取福 洪剑寒 王鸿博
关键词：磁控溅射; 薄膜; 原子力显微镜; 纳米结构; 导电性能;
摘 要：在室温条件下,采用磁控溅射法在PET纺粘非织造布上制备了纳米Ag薄膜,用原子力显微镜(AFM)表征磁控溅射真空室压强对纳米Ag薄膜结晶状态、粒径的影响;研究了溅射工艺参数与薄膜导电性能之间的关系.实验结果表明:在该实验范围内溅射速率随压强的增大先增大后减小;薄膜方块电阻的变化规律与溅射速率的变化规律一致;薄膜颗粒直径随压强的增大先增大后减小,但在压强大于1.5Pa时,薄膜颗粒直径随压强变化未呈现明显的变化规律.
魏取福1，洪剑寒1，王鸿博1
(1.江南大学生态纺织科学与技术教育部重点实验室,无锡,214122)
摘要:在室温条件下,采用磁控溅射法在PET纺粘非织造布上制备了纳米Ag薄膜,用原子力显微镜(AFM)表征磁控溅射真空室压强对纳米Ag薄膜结晶状态、粒径的影响;研究了溅射工艺参数与薄膜导电性能之间的关系.实验结果表明:在该实验范围内溅射速率随压强的增大先增大后减小;薄膜方块电阻的变化规律与溅射速率的变化规律一致;薄膜颗粒直径随压强的增大先增大后减小,但在压强大于1.5Pa时,薄膜颗粒直径随压强变化未呈现明显的变化规律.
关键词:磁控溅射; 薄膜; 原子力显微镜; 纳米结构; 导电性能;
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