基于原子力显微镜的薄膜原位压痕力学性能研究

来源期刊：稀有金属材料与工程2015年第8期

论文作者：杜圆明 张跃飞 张长辉 刘燕萍

文章页码：1959 - 1963

关键词：原子力显微镜;纳米压痕;硬度;弹性模量;

摘    要：基于原子力显微镜（AFM）和扫描电子显微镜（SEM）建立了一套原位纳米压痕测试系统。该系统可以实现控制带有金刚石（Cube corner）压头的AFM微悬臂梁对样品进行压入实验,并得到载荷-位移曲线,同时可以对压痕过程进行原位SEM实时观察。发展了一种基于AFM微悬臂梁加载和原位SEM压痕图像分析的力学性能测试方法,通过测量压入最大载荷和原位SEM测量压痕残余面积得到塑性薄膜的硬度和弹性模量。利用此方法对磁控溅射硅衬底上纳米晶银薄膜进行了压痕实验,并与Nanoindenter G200型纳米压痕仪实验进行对比研究。结果表明,原位AFM压痕方法具有高的载荷和位移分辨率,可以实现纳牛至微牛级的压痕实验,通过测量压痕面积得到塑性薄膜的硬度值,减小了使用Oliver-pharr方法中软膜硬基底上凸起（Pile-up）效应的影响,计算结果也具有好的测试精度和可靠性。