简介概要

分子沉积膜的纳米压痕试验

来源期刊：机械工程材料2003年第9期

论文作者：冯大鹏兰惠清李德才张嗣伟

关键词：分子沉积膜; 纳米压痕; 力学性能;

摘要：制备了金衬底表面上的分子沉积膜,用原子力显微镜观测了其表面形貌;用纳米压痕仪研究其纳米力学特性.结果表明,沉积一层膜后衬底表面的弹性模量、硬度都减小,而且弹性变形增加,塑性变形减小,从而证明膜改善了金衬底的力学特性.

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冯大鹏¹，兰惠清²，李德才²，张嗣伟¹

(1.石油大学机电学院,北京,102200;
2.北方交通大学机械与电子控制工程学院,北京,100044)

摘要:制备了金衬底表面上的分子沉积膜,用原子力显微镜观测了其表面形貌;用纳米压痕仪研究其纳米力学特性.结果表明,沉积一层膜后衬底表面的弹性模量、硬度都减小,而且弹性变形增加,塑性变形减小,从而证明膜改善了金衬底的力学特性.

关键词:分子沉积膜; 纳米压痕; 力学性能;

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