TiN薄膜腐蚀过程的电化学原子力显微镜原位研究
来源期刊：材料保护2001年第12期
论文作者：许晓磊 俞春福 黑祖昆 王亮 徐久军
关键词：TiN薄膜; 腐蚀; 电化学原子力显微镜; 原位观察;
摘 要：用离子束增强沉积(IBED)技术在1Cr18Ni9不锈钢上制备了TiN薄膜,并用电化学原子力显微镜(ECAFM),从纳米级空间分辨度对其在3%NaCl溶液中的早期腐蚀过程进行了原位研究.结果表明,TiN薄膜在极化电位的阴极区域发生钛氧化物膜的还原溶解;在低阳极极化电位下,发生轻微腐蚀,当阳极极化电位进一步提高,在200～300 mV出现电解抛光现象.可见,电化学原子力显微镜是研究早期腐蚀过程的有效研究手段,可原位观察研究微观腐蚀的过程
许晓磊1，俞春福1，黑祖昆1，王亮1，徐久军1
(1.大连海事大学材料工艺研究所,)
摘要:用离子束增强沉积(IBED)技术在1Cr18Ni9不锈钢上制备了TiN薄膜,并用电化学原子力显微镜(ECAFM),从纳米级空间分辨度对其在3%NaCl溶液中的早期腐蚀过程进行了原位研究.结果表明,TiN薄膜在极化电位的阴极区域发生钛氧化物膜的还原溶解;在低阳极极化电位下,发生轻微腐蚀,当阳极极化电位进一步提高,在200～300 mV出现电解抛光现象.可见,电化学原子力显微镜是研究早期腐蚀过程的有效研究手段,可原位观察研究微观腐蚀的过程
关键词:TiN薄膜; 腐蚀; 电化学原子力显微镜; 原位观察;
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