消除俄歇电子能谱实验中氧化物表面荷电的新方法
来源期刊：材料研究学报2000年增刊第1期
论文作者：郭汉生
关键词：俄歇电子能谱; 电子受激脱附; 绝缘表面;
摘 要：为使俄歇电子能谱有效地用于分析氧化物,引入环境俄歇电子能谱方法.对于消除入射电子束对氧化物表面的损伤-包括荷电现象和氧元素电子受激脱附-6×10-6Pa O2环境比中和电子枪和低能正离子束优越,也比1.3×10-2Pa氩气环境有效.
郭汉生1
(1.北京工业大学)
摘要:为使俄歇电子能谱有效地用于分析氧化物,引入环境俄歇电子能谱方法.对于消除入射电子束对氧化物表面的损伤-包括荷电现象和氧元素电子受激脱附-6×10-6Pa O2环境比中和电子枪和低能正离子束优越,也比1.3×10-2Pa氩气环境有效.
关键词:俄歇电子能谱; 电子受激脱附; 绝缘表面;
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