俄歇电子能谱仪在氧化铜定量分析中的应用

来源期刊：理化检验物理分册2016年第9期

论文作者：肖红 李芳芳 陆雷 曾荣光 吕学超 钟永强

文章页码：642 - 645

关键词：俄歇电子能谱;定量分析;氧化铜;基体效应修正;背散射因子;非弹性平均自由程;

摘    要：将基体效应修正引入到俄歇电子能谱仪定量分析中,基于Monte Carlo模拟和TPP-2M模型进行了氧化铜样品中各元素背散射因子和非弹性平均自由程的计算,对氧化铜标样在相同条件下重复10次进行俄歇能谱试验。将修正因子引入到氧化铜标样的俄歇定量分析中,基体效应修正后,氧化铜中各元素含量的相对误差大大减小,俄歇定量分析的精确度有很大提高。