大位移自对准光开关微动作器的模拟和制作
来源期刊：功能材料与器件学报2003年第3期
论文作者：王浙辉 李铁 王跃林
关键词：光开关; 微动作器; 位移; 静电驱动; 有限元分析;
摘 要：报导了一种新型静电驱动扭转梁大位移微机械光开关微动作器的模拟、设计和制作.模拟结果表明,该微动作器的第一模态频率远低于第二模态,镜子的位移由梁的扭转引起.在32.8V的电压驱动下,上电极的前端位移是 69.6μ m,镜子的有效位移是 57μ m.测到第一模态频率是500Hz.利用本结构可成功地解决开关速度和大位移的矛盾.这样的位移足够使用 Corning OptiFocus Collimating Lensed Fiber来对准,从而获得低插入损耗.
王浙辉1，李铁1，王跃林1
(1.中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室,上海,200050)
摘要:报导了一种新型静电驱动扭转梁大位移微机械光开关微动作器的模拟、设计和制作.模拟结果表明,该微动作器的第一模态频率远低于第二模态,镜子的位移由梁的扭转引起.在32.8V的电压驱动下,上电极的前端位移是 69.6μ m,镜子的有效位移是 57μ m.测到第一模态频率是500Hz.利用本结构可成功地解决开关速度和大位移的矛盾.这样的位移足够使用 Corning OptiFocus Collimating Lensed Fiber来对准,从而获得低插入损耗.
关键词:光开关; 微动作器; 位移; 静电驱动; 有限元分析;
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