转动竖直镜面的微机械光开关
来源期刊：功能材料与器件学报2004年第1期
论文作者：刘文平 王跃林 杨艺榕 吴亚明
关键词：MEMS光开关; (110)硅各向异性腐蚀; 深反应离子刻蚀;
摘 要：提出并制作了转动竖直微镜的微机械光开关,采用曲线形状的电极设计,有效地减低了悬臂梁驱动器的吸合电压,采用体硅深刻蚀技术结合(110)硅的各向异性腐蚀技术制备了光开关芯片和耦合对准的U形槽和卡簧.芯片经初步封装后进行了电学测试和光学测试,测得吸合电压78.5V,谐振频率2.3kHz,光开关损耗5dB,隔离度45dB.
刘文平1，王跃林1，杨艺榕1，吴亚明1
(1.中国科学院上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200050)
摘要:提出并制作了转动竖直微镜的微机械光开关,采用曲线形状的电极设计,有效地减低了悬臂梁驱动器的吸合电压,采用体硅深刻蚀技术结合(110)硅的各向异性腐蚀技术制备了光开关芯片和耦合对准的U形槽和卡簧.芯片经初步封装后进行了电学测试和光学测试,测得吸合电压78.5V,谐振频率2.3kHz,光开关损耗5dB,隔离度45dB.
关键词:MEMS光开关; (110)硅各向异性腐蚀; 深反应离子刻蚀;
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