退火温度对BZT薄膜介电性能的影响研究
来源期刊：材料保护2013年第S1期
论文作者：邓小玲 郭冬娇 蔡苇 符春林
文章页码：115 - 116
关键词：溶胶-凝胶;锆钛酸钡;薄膜;退火温度;介电性能;
摘 要：采用sol-gel法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了Ba（Zr0.2Ti0.8）O3（BZT）薄膜。X射线衍射分析表明,该BZT薄膜为钙钛矿结构而无其它物相存在。光学显微镜分析结果表明,退火温度为900℃时,BZT薄膜表面光滑平整,无裂纹产生;同时其介电常数最大而损耗最低。
邓小玲，郭冬娇，蔡苇，符春林
重庆科技学院冶金与材料工程学院
摘 要：采用sol-gel法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了Ba（Zr0.2Ti0.8）O3（BZT）薄膜。X射线衍射分析表明,该BZT薄膜为钙钛矿结构而无其它物相存在。光学显微镜分析结果表明,退火温度为900℃时,BZT薄膜表面光滑平整,无裂纹产生;同时其介电常数最大而损耗最低。
关键词：溶胶-凝胶;锆钛酸钡;薄膜;退火温度;介电性能;
