Li和Ti共掺NiO薄膜的溶胶-凝胶法制备及其介电性能
来源期刊：功能材料2006年第8期
论文作者：张雅茹 张波萍 李向阳 董燕
关键词：NiO薄膜; 溶胶-凝胶法; 介电常数; Li和Ti掺杂;
摘 要：采用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2(1mm)/Si基板上制备了Li和Ti共掺NiO基新型无铅介电薄膜材料,研究了薄膜的形貌、结构、介电性能.结果表明,热分解温度(300～500℃)对薄膜结构影响不明显,经600～800℃退火后的薄膜由NiO与Li-Ni-O复合氧化伆组成;经300℃热分解处理、650℃退火后的薄膜,其表面均匀致密,膜厚约300nm,室温下100Hz时的介电常数为767,当频率高于3000Hz后,介电常数随频率的增加趋于减小.
张雅茹1，张波萍1，李向阳2，董燕1
(1.北京科技大学,材料科学与工程学院无机非金属系,北京,100083;
2.钢铁研究总院,北京,100081)
摘要:采用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2(1mm)/Si基板上制备了Li和Ti共掺NiO基新型无铅介电薄膜材料,研究了薄膜的形貌、结构、介电性能.结果表明,热分解温度(300～500℃)对薄膜结构影响不明显,经600～800℃退火后的薄膜由NiO与Li-Ni-O复合氧化伆组成;经300℃热分解处理、650℃退火后的薄膜,其表面均匀致密,膜厚约300nm,室温下100Hz时的介电常数为767,当频率高于3000Hz后,介电常数随频率的增加趋于减小.
关键词:NiO薄膜; 溶胶-凝胶法; 介电常数; Li和Ti掺杂;
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