InP低温缓冲层的表面形貌及对其外延层生长的影响
来源期刊：功能材料与器件学报2007年第1期
论文作者：黄辉 熊德平 任晓敏 王琦 黄永清 任爱光
关键词：退火; 原子力显微镜; 均方根; 低温缓冲层; low temperature buffer (LTB); atomic force microscopy (AFM); root - mean - square (RMS);
摘 要：采用两步生长法用金属有机物气相外延技术在GaAs(100)衬底生长InP,用原子力显微镜探索了退火和未退火的低温缓冲层以及InP外延层的表面形貌,测量了他们的表面均方根值,讨论了低温缓冲层表面形貌随生长温度的变化以及退火对其表面形貌的影响,并分析外延层与低温缓冲层表面形貌的依赖关系,外延层表面形貌均方根值与XRD测量值一致,在450 ℃生长低温缓冲层,外延层有最好的表面形貌.
黄辉1，熊德平1，任晓敏1，王琦2，黄永清1，任爱光1
(1.北京邮电大学光通信中心,北京,100876;
2.北京邮电大学继续教育学院,北京,100876)
摘要:采用两步生长法用金属有机物气相外延技术在GaAs(100)衬底生长InP,用原子力显微镜探索了退火和未退火的低温缓冲层以及InP外延层的表面形貌,测量了他们的表面均方根值,讨论了低温缓冲层表面形貌随生长温度的变化以及退火对其表面形貌的影响,并分析外延层与低温缓冲层表面形貌的依赖关系,外延层表面形貌均方根值与XRD测量值一致,在450 ℃生长低温缓冲层,外延层有最好的表面形貌.
关键词:退火; 原子力显微镜; 均方根; 低温缓冲层; low temperature buffer (LTB); atomic force microscopy (AFM); root - mean - square (RMS);
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