纳米TiO2薄膜的制备及其表面形貌AFM观测
来源期刊：材料导报2005年增刊第1期
论文作者：陈俊芳 熊予莹 吴先球 余红华
关键词：纳米; TiO2薄膜; 表面形貌; AFM;
摘 要：采用溶胶-凝胶法在玻璃载波片及ITO导电玻璃片上制备出负载型纳米TiO2薄膜,并用原子力显微镜(AFM)对不同条件下制备的TiO2的表面形貌进行了表征.结果表明,TiO2薄膜能较好地负载在玻片表面,并且TiO2薄膜的表面形貌与前驱物的配比浓度、基片、热处理温度等都有密切的关系.随浓度和镀膜层数的增大,薄膜中TiO2纳米微晶的颗粒尺寸逐渐增大,从细小均匀粒子膜变为较大不规则的板块结构.在ITO薄膜面形成的TiO2薄膜具有较小的颗粒和均匀的分布.
陈俊芳1，熊予莹1，吴先球1，余红华2
(1.华南师范大学物理与电信工程学院,广州,510631;
2.华南师范大学分析测试中心,广州,510631)
摘要:采用溶胶-凝胶法在玻璃载波片及ITO导电玻璃片上制备出负载型纳米TiO2薄膜,并用原子力显微镜(AFM)对不同条件下制备的TiO2的表面形貌进行了表征.结果表明,TiO2薄膜能较好地负载在玻片表面,并且TiO2薄膜的表面形貌与前驱物的配比浓度、基片、热处理温度等都有密切的关系.随浓度和镀膜层数的增大,薄膜中TiO2纳米微晶的颗粒尺寸逐渐增大,从细小均匀粒子膜变为较大不规则的板块结构.在ITO薄膜面形成的TiO2薄膜具有较小的颗粒和均匀的分布.
关键词:纳米; TiO2薄膜; 表面形貌; AFM;
【全文内容正在添加中】
