氧化锌掺钇透明导电薄膜的制备及光电特性研究
来源期刊：功能材料2010年第9期
论文作者：宋淑梅 杨田林 辛艳青 姜丽莉 李延辉 庞志勇 林亮 韩圣浩
文章页码：1578 - 3164
关键词：透明导电薄膜;YZO;射频磁控溅射;电阻率;透过率;
摘 要：采用射频磁控溅射法,室温下在玻璃衬底上制备出了具有良好附着性、低电阻率和高透过率的新型透明导电薄膜YZO（ZnO掺杂Y2O3简称YZO）。在薄膜厚度为600nm的情况下,研究了薄膜电学特性随溅射功率和溅射气压的变化情况。X射线衍射谱表明YZO薄膜是多晶膜,具有ZnO的六角纤锌矿结构,最佳取向为（002）方向。最佳溅射条件下制备的薄膜电阻率为8.71×10-4Ω.cm,在可见光范围内平均透过率达到92.3%,禁带宽度为3.57eV。
宋淑梅1,2，杨田林1，辛艳青1，姜丽莉1，李延辉1，庞志勇2，林亮2，韩圣浩1,2
1. 山东大学威海分校空间科学与物理学院2. 山东大学物理学院
摘 要：采用射频磁控溅射法,室温下在玻璃衬底上制备出了具有良好附着性、低电阻率和高透过率的新型透明导电薄膜YZO（ZnO掺杂Y2O3简称YZO）。在薄膜厚度为600nm的情况下,研究了薄膜电学特性随溅射功率和溅射气压的变化情况。X射线衍射谱表明YZO薄膜是多晶膜,具有ZnO的六角纤锌矿结构,最佳取向为（002）方向。最佳溅射条件下制备的薄膜电阻率为8.71×10-4Ω.cm,在可见光范围内平均透过率达到92.3%,禁带宽度为3.57eV。
关键词：透明导电薄膜;YZO;射频磁控溅射;电阻率;透过率;
