一种兆赫频超声抛光振子的设计与研究

来源期刊：机械设计与制造2018年第1期

论文作者：何勍 翟科 李亮 任奕

文章页码：118 - 121

关键词：兆声;化学机械抛光;声传播;模式控制;压电振子;

摘    要：在声波透射与折射基本理论的基础上,设计制作了匹配层压电换能器结构的兆声抛光振子,提高了兆赫频超声抛光工具的声能量辐射效率。此外,通过对兆声压电振子的振动模式进行控制,消除了高频圆片型压电振子本身存在的强烈的耦合振动效应。在制作完成兆声抛光振子的基础上,对抛光振子工作端的振动振幅进行了测试,在横向尺度上满足了兆声抛光工具头振动振幅均匀化的要求。实现了一种用于硅片化学机械抛光的兆声抛光振子。为大尺寸硅片的化学机械抛光工艺提供了可借鉴的附加技术手段。