钛膜表面氧气氧化层研究
来源期刊：材料导报2004年第5期
论文作者：彭述明 杨茂年 张晓红 曹小华 龙兴贵 刘文科 李宏发 颜登云 王维笃 杨本福
关键词：钛膜; 表面; 氧化层; 连续;
摘 要：研究了钼基钛膜表面氧气氧化工艺;用XRD分析了氧气氢化层的物相,其物相随氧化条件而异,含有Ti、TiO2、TiO、Ti2O、Ti3O和Ti6O等多种物相;用XPS研究了氧气氧化层钛的主要价态,其主要价态为+4、+3和+2价;用AES深度剖析研究了氧气氧化层的厚度,并研究了温度、氧气压力和时间对氧气氧化层厚度影响的规律;所有氧气氧化层均不与腐蚀介质发生作用,证明了该氧化层致密连续.
彭述明1，杨茂年1，张晓红1，曹小华1，龙兴贵1，刘文科1，李宏发1，颜登云1，王维笃1，杨本福1
(1.中国工程物理研究院核物理与化学研究所,绵阳,621900)
摘要:研究了钼基钛膜表面氧气氧化工艺;用XRD分析了氧气氢化层的物相,其物相随氧化条件而异,含有Ti、TiO2、TiO、Ti2O、Ti3O和Ti6O等多种物相;用XPS研究了氧气氧化层钛的主要价态,其主要价态为+4、+3和+2价;用AES深度剖析研究了氧气氧化层的厚度,并研究了温度、氧气压力和时间对氧气氧化层厚度影响的规律;所有氧气氧化层均不与腐蚀介质发生作用,证明了该氧化层致密连续.
关键词:钛膜; 表面; 氧化层; 连续;
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