离子束辅助沉积WS_2-Ti-Ag复合薄膜的摩擦性能
来源期刊：宇航材料工艺2009年第6期
论文作者：邱维维 郭毓峰
关键词：离子束辅助沉积; 复合薄膜; 摩擦磨损; Ion beam assisted deposition; Composite thin films; Friction and wear;
摘 要：采用ZDH-100型号离子束复合沉积设备沉积WS_2-Ti-Ag复合薄膜,基材为轴承钢和单晶硅(100).采用场发射扫描电子显微镜、XRD衍射仪,检测复合薄膜的表面形貌、微观结构.采用球-盘式摩擦磨损试验机,对复合薄膜在大气环境中的摩擦性能进行了研究.结果表明:采用离子束辅助沉积技术制备的WS_2-Ti-Ag复合薄膜是非晶态薄膜;并且随法向载荷的增加,复合薄膜的摩擦因数减小,摩擦状态越稳定,耐磨寿命越短.
邱维维1，郭毓峰2
(1.北京机械工业自动化研究所,北京,100120;
2.国家国防科技工业局,北京,100037)
摘要:采用ZDH-100型号离子束复合沉积设备沉积WS_2-Ti-Ag复合薄膜,基材为轴承钢和单晶硅(100).采用场发射扫描电子显微镜、XRD衍射仪,检测复合薄膜的表面形貌、微观结构.采用球-盘式摩擦磨损试验机,对复合薄膜在大气环境中的摩擦性能进行了研究.结果表明:采用离子束辅助沉积技术制备的WS_2-Ti-Ag复合薄膜是非晶态薄膜;并且随法向载荷的增加,复合薄膜的摩擦因数减小,摩擦状态越稳定,耐磨寿命越短.
关键词:离子束辅助沉积; 复合薄膜; 摩擦磨损; Ion beam assisted deposition; Composite thin films; Friction and wear;
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