纳米晶Ti-Si-N超硬复合涂层的研究进展
来源期刊：粉末冶金技术2005年第5期
论文作者：张铁邦 黄四九 高见 沈保罗 冯浩 王均
关键词：Ti-Si-N; 化学气相沉积; 物理气相沉积; 涂层; 微观结构; 性能;
摘 要：本文对纳米晶Ti-Si-N超硬涂层材料国内外研究进展进行了系统的回顾,着重分析了制备方法(等离子增强化学气相沉积, 等离子辅助化学气相沉积,直流磁控溅射和射频磁控溅射等)、工艺参数(沉积温度,进气比)和硅含量对Ti-Si-N微观结构、硬度、抗氧化性、耐腐蚀性和耐磨性的影响.在合适的工艺条件下,能获得硬度最高的纳米TiN晶体镶嵌在非晶态的Si3N4 基体上的复合涂层 (nc-TiN/a-Si3N4).该涂层有良好的性能并将得到广泛的应用.
张铁邦1，黄四九2，高见3，沈保罗1，冯浩3，王均1
(1.四川大学材料科学与工程学院,成都,610064;
2.双流四九稀土合金铸造厂,成都,610211;
3.成都工具研究所,成都,610051)
摘要:本文对纳米晶Ti-Si-N超硬涂层材料国内外研究进展进行了系统的回顾,着重分析了制备方法(等离子增强化学气相沉积, 等离子辅助化学气相沉积,直流磁控溅射和射频磁控溅射等)、工艺参数(沉积温度,进气比)和硅含量对Ti-Si-N微观结构、硬度、抗氧化性、耐腐蚀性和耐磨性的影响.在合适的工艺条件下,能获得硬度最高的纳米TiN晶体镶嵌在非晶态的Si3N4 基体上的复合涂层 (nc-TiN/a-Si3N4).该涂层有良好的性能并将得到广泛的应用.
关键词:Ti-Si-N; 化学气相沉积; 物理气相沉积; 涂层; 微观结构; 性能;
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