K4玻璃与Si片的阳极焊
来源期刊:材料开发与应用2002年第1期
论文作者:喻萍 张丽娜 何江 薛锦
关键词:阳极焊; 场致扩散; 玻璃; 硅;
摘 要:介绍了K4玻璃与硅的阳极焊过程,分析了阳极焊的结合机理并考察了温度和电压对焊接过程的影响.结果显示,在适宜的温度和电压下,可获得良好的K4玻璃-硅片焊接接头.焊接温度为300~400℃、焊接电压为700~800V时,焊合率较高,且焊接接头的拉伸强度高于母材的拉伸强度.K4玻璃良好的离子导电特性,使其能够在低温和电场作用下与硅片产生良好的连接.
喻萍1,张丽娜1,何江1,薛锦1
(1.西安交通大学,西安,710049)
摘要:介绍了K4玻璃与硅的阳极焊过程,分析了阳极焊的结合机理并考察了温度和电压对焊接过程的影响.结果显示,在适宜的温度和电压下,可获得良好的K4玻璃-硅片焊接接头.焊接温度为300~400℃、焊接电压为700~800V时,焊合率较高,且焊接接头的拉伸强度高于母材的拉伸强度.K4玻璃良好的离子导电特性,使其能够在低温和电场作用下与硅片产生良好的连接.
关键词:阳极焊; 场致扩散; 玻璃; 硅;
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