偏压对CrTiAlN镀层组织形貌及磨损性能的影响
来源期刊：材料热处理学报2006年第5期
论文作者：张国君 白力静 蒋百灵
关键词：偏压; CrTiAlN镀层; 形貌; 相; 磨损性能;
摘 要：利用闭合场非平衡磁控溅射离子镀技术制备了耐磨CrTiAlN镀层,分析了溅射偏压对该镀层的形貌、相结构以及磨损性能的影响.研究表明:偏压对镀层的形貌、相结构以及与摩擦学性能有关的摩擦系数、硬度、结合力以及磨损率等参数都有影响.在制备CrTiAlN镀层的过程中,当偏压为-75V时镀层的耐磨损性最好,当偏压在-65V--85V变化时,镀层形貌的变化对镀层的磨损性能无明显影响,CrTiAlN镀层相结构的变化是影响磨损性能的主要原因.
张国君1，白力静2，蒋百灵1
(1.西安理工大学材料学院,陕西,西安,710048;
2.西安交通大学材料学院,陕西,西安,710049)
摘要:利用闭合场非平衡磁控溅射离子镀技术制备了耐磨CrTiAlN镀层,分析了溅射偏压对该镀层的形貌、相结构以及磨损性能的影响.研究表明:偏压对镀层的形貌、相结构以及与摩擦学性能有关的摩擦系数、硬度、结合力以及磨损率等参数都有影响.在制备CrTiAlN镀层的过程中,当偏压为-75V时镀层的耐磨损性最好,当偏压在-65V--85V变化时,镀层形貌的变化对镀层的磨损性能无明显影响,CrTiAlN镀层相结构的变化是影响磨损性能的主要原因.
关键词:偏压; CrTiAlN镀层; 形貌; 相; 磨损性能;
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