Pyrex玻璃/铝多层阳极键合界面结构与力学分析
来源期刊：功能材料2008年第9期
论文作者：刘翠荣 鲁晓莹 赵亚溥 杨振宇 孟庆森
关键词：阳极键合; 铝; Pyrex玻璃; 力学特征; MEMS;
摘 要：采用公共阳极法实现了Pyrex玻璃与铝多层晶片的静电键合,对玻璃/铝/玻璃阳极接舍界面的组织结构及其连接机理和力学特征进行了重点研究.分别利用微拉伸测试设备和ANSYS软件分析了连接区的力学性能和残余应力分布特征.分析认为键合区由玻璃一过渡层一铝组成,过渡层为Al2O3-SiO2复合氧化物.玻璃/铝界面的微观组织和元素分布均以铝为对称轴呈对称分布.在玻璃/铝/玻璃多层连接区,键合界面附近的残余应力和应变呈对称分布,多层结构的对称性有利于缓解接头应变和应力,表明应用公共阳极法可实现多层玻璃/铝/玻璃的良好键合.
刘翠荣1，鲁晓莹1，赵亚溥2，杨振宇2，孟庆森1
(1.太原理工大学,材料与科学工程学院,山西,太原,030024;
2.中科院力学所,非线性力学国家重点实验室,北京,100086)
摘要:采用公共阳极法实现了Pyrex玻璃与铝多层晶片的静电键合,对玻璃/铝/玻璃阳极接舍界面的组织结构及其连接机理和力学特征进行了重点研究.分别利用微拉伸测试设备和ANSYS软件分析了连接区的力学性能和残余应力分布特征.分析认为键合区由玻璃一过渡层一铝组成,过渡层为Al2O3-SiO2复合氧化物.玻璃/铝界面的微观组织和元素分布均以铝为对称轴呈对称分布.在玻璃/铝/玻璃多层连接区,键合界面附近的残余应力和应变呈对称分布,多层结构的对称性有利于缓解接头应变和应力,表明应用公共阳极法可实现多层玻璃/铝/玻璃的良好键合.
关键词:阳极键合; 铝; Pyrex玻璃; 力学特征; MEMS;
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