掺杂方式对FeCo/SiO2复合薄膜择优取向的影响
来源期刊：兵器材料科学与工程2018年第3期
论文作者：马跃 石丽佳 徐仕翀 王丽 李海波 刘梅
文章页码：68 - 71
关键词：FeCo/SiO2复合薄膜;溶胶-凝胶旋涂;掺杂工艺;结构;磁性;
摘 要：采用溶胶-凝胶工艺将Al均匀掺入FeCo/SiO2复合薄膜中,与Al作为籽层掺杂相比,研究不同的掺杂方式对FeCo（200）择优取向的影响。结果表明,不同的制备方式和Al掺入含量在薄膜中造成的晶格畸变不同引起择优取向变化趋势的不同。
马跃1，石丽佳1，徐仕翀1,2，王丽1,2，李海波1,2，刘梅1,2
1. 吉林师范大学功能材料物理与化学教育部重点实验室2. 吉林师范大学物理国家级实验教学示范中心
摘 要：采用溶胶-凝胶工艺将Al均匀掺入FeCo/SiO2复合薄膜中,与Al作为籽层掺杂相比,研究不同的掺杂方式对FeCo（200）择优取向的影响。结果表明,不同的制备方式和Al掺入含量在薄膜中造成的晶格畸变不同引起择优取向变化趋势的不同。
关键词：FeCo/SiO2复合薄膜;溶胶-凝胶旋涂;掺杂工艺;结构;磁性;
