共掺浓度对Na-Al共掺杂ZnO薄膜微观结构和光电性能的影响
来源期刊：材料工程2018年第6期
论文作者：陈义川 胡跃辉 胡克艳 张效华 童帆 帅伟强 劳子轩
文章页码：51 - 56
关键词：ZnO;溶胶-凝胶;Na-Al共掺杂;微观结构;光学性能;
摘 要：在石英玻璃衬底上,通过溶胶-凝胶旋涂法制备得到钠铝（Na-Al）共掺氧化锌（ZnO）薄膜（NAZO）。研究不同NaAl共掺杂浓度对ZnO薄膜的结晶性、微观结构、光电性能的影响。结果表明:所有NAZO薄膜样品都沿c轴择优取向生长;适当的Na-Al共掺浓度,可以提高ZnO薄膜结晶性,提高薄膜的载流子迁移率;同时还可以观察到NAZO薄膜表面生长出六角柱状结构晶粒。随着Na-Al元素掺杂浓度的改变,所获薄膜的最高平均光学透过率达到95%。由于元素间固溶比的不同,适当的浓度可以提高Na-Al元素的掺杂效率和薄膜内部的载流子浓度,降低薄膜电阻率,NAZO薄膜最低电阻率为4.7×10-2Ω·cm。
陈义川，胡跃辉，胡克艳，张效华，童帆，帅伟强，劳子轩
景德镇陶瓷大学机械电子工程学院
摘 要：在石英玻璃衬底上,通过溶胶-凝胶旋涂法制备得到钠铝（Na-Al）共掺氧化锌（ZnO）薄膜（NAZO）。研究不同NaAl共掺杂浓度对ZnO薄膜的结晶性、微观结构、光电性能的影响。结果表明:所有NAZO薄膜样品都沿c轴择优取向生长;适当的Na-Al共掺浓度,可以提高ZnO薄膜结晶性,提高薄膜的载流子迁移率;同时还可以观察到NAZO薄膜表面生长出六角柱状结构晶粒。随着Na-Al元素掺杂浓度的改变,所获薄膜的最高平均光学透过率达到95%。由于元素间固溶比的不同,适当的浓度可以提高Na-Al元素的掺杂效率和薄膜内部的载流子浓度,降低薄膜电阻率,NAZO薄膜最低电阻率为4.7×10-2Ω·cm。
关键词：ZnO;溶胶-凝胶;Na-Al共掺杂;微观结构;光学性能;
