一种聚合物平板微器件的制造方法

徐征¹，王林刚¹，栾庆蕾¹，宋满仓²

1. 大连理工大学微纳米技术及系统辽宁省重点实验室2. 大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室

摘 要：以一种平板微器件-微流控芯片制造为研究对象,针对单一的注塑成型工艺难以保证器件的宏微形位误差的难题,提出了一种新颖的聚合物平板微器件集成制造方法。首先,设计并制造了一套注塑模具,其中采用双螺纹结构将微镶件和定模架相连,对注塑工艺参数进行优化,制得填充率接近1的平板微制件。然后,对平板微制件进行了基于视觉对准的铣削整形和热压整平,有效改善了制件的宏微形位误差和平面度误差。最后,利用加工的器件进行装配,形成微流控芯片,并对芯片进行了流量测试和疲劳测试。实验结果表明:采用提出方法制造的微流控芯片,各项精度指标和性能可以满足实际使用要求,工艺成果对同类器件的研发和生产提供了借鉴和指导。

关键词：注塑成型;平板微制件;聚合物微器件;微流控芯片;