闭锁电热微开关的制备及性能测试

来源期刊：功能材料与器件学报2012年第5期

论文作者：张颖 汪红 毛胜平 戴旭涵 丁桂甫

文章页码：345 - 349

关键词：电热驱动;机械锁定;MEMS微加工工艺;时序双脉冲电信号;

摘    要：本文主要介绍了一种闭锁电热微开关的制备及性能测试。利用双层膜电热微驱动器,基于双悬臂梁的结构设计,实现开关的驱动和闭锁。采用MEMS表面微加工技术完成所设计微开关器件的制备,并对其进行性能测试。结果表明,施加的脉冲电信号的最佳占空比为10%,并测得电阻丝能承受的最大功耗为90mW,单臂梁的翘曲高度为58μm,所得结果能够满足设计的闭锁电热微开关的工作需要。将本次设计的微开关连接到外接电路中,并施加时序双脉冲电信号,测得了外接电路的导通信号。