高温水解-离子色谱法测定氮化硅中的氟和氯
来源期刊：理化检验-化学分册2016年第4期
论文作者：赵悦 胡秀芳 张娟 刘勇 李英秋
文章页码：444 - 447
关键词：离子色谱法;高温水解;氮化硅;氟;氯;
摘 要：采用高温水解-离子色谱法测定氮化硅中氟和氯的含量。氮化硅样品经1 050℃高温水解,氢氧化钠溶液吸收挥发性氟化物和氯化物,使待测元素以相应阴离子形式存在。以8.0mmol·L-1碳酸钠-1.0mmol·L-1碳酸氢钠混合液为淋洗液,抑制型电导检测器测定。F-和Cl-的线性范围依次为0.101.00mg·L-1,1.0010.00mg·L-1,检出限（3σ）依次为0.017,0.026mg·L-1。方法应用于氮化硅样品的分析,测定值与能量散射X射线荧光法测定结果相符,测定值的相对标准偏差（n=7）小于4.0%。用标准加入法进行回收试验,测得回收率在84.5%106%之间。
赵悦，胡秀芳，张娟，刘勇，李英秋
中国工程物理研究院材料研究所
摘 要：采用高温水解-离子色谱法测定氮化硅中氟和氯的含量。氮化硅样品经1 050℃高温水解,氢氧化钠溶液吸收挥发性氟化物和氯化物,使待测元素以相应阴离子形式存在。以8.0mmol·L-1碳酸钠-1.0mmol·L-1碳酸氢钠混合液为淋洗液,抑制型电导检测器测定。F-和Cl-的线性范围依次为0.101.00mg·L-1,1.0010.00mg·L-1,检出限（3σ）依次为0.017,0.026mg·L-1。方法应用于氮化硅样品的分析,测定值与能量散射X射线荧光法测定结果相符,测定值的相对标准偏差（n=7）小于4.0%。用标准加入法进行回收试验,测得回收率在84.5%106%之间。
关键词：离子色谱法;高温水解;氮化硅;氟;氯;
