磁场热处理对FePt薄膜结构和磁性的影响

来源期刊：兵器材料科学与工程2015年第5期

论文作者：张玉梅 刘梅 华杰 王丽 李海波

文章页码：9 - 12

关键词：L10FePt薄膜;磁场热处理;结构;磁性;

摘    要：采用磁控溅射方法在表面氧化的Si（100）基片上制备了厚为70nm的FePt薄膜,在不同温度下于磁场中进行热处理,利用X线衍射仪、振动样品磁强计和原子力显微镜对样品进行分析,研究磁场热处理对FePt薄膜结构和磁性的影响。结果表明:磁场热处理有助于FePt薄膜的无序-有序相转变,在0.4MA/m磁场中,经过500℃热处理的FePt薄膜的有序化程度提高,平行和垂直膜面的矫顽力增大;磁场热处理能够抑制磁性颗粒的团聚,使薄膜中的磁性颗粒分布均匀,薄膜表面的粗糙度降低。