不同厚度BiFeO₃薄膜的光电性质

来源期刊：材料开发与应用2017年第6期

论文作者：谢谦 罗炳成

文章页码：87 - 94

关键词：不同厚度;BiFeO3;薄膜;光电性质;

摘    要：利用溶胶-凝胶法制备BiFeO₃靶材,通过射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备不同厚度的BiFeO₃薄膜,并研究不同厚度对其微观结构、铁电性、漏电流特性及薄膜折射率和消光系数的的影响。结果表明,随着薄膜厚度的增加,铁电性变好,薄膜折射率和消光系数增大,当电压较低时（U1/2<2）,Poole-Frenkel机制在漏电特性中起主导作用,当电压较高（1/U<0.25）时,FN隧穿起主导作用;通过拟合图谱计算出不同沉积时间的薄膜厚度及表面层厚度,结果与原子力显微镜测的数值基本一致。