磁控溅射Ti-50%Zr合金薄膜不同厚度时的结构

张延志¹，管卫军¹，郑黎荣²，赖新春¹，汪小琳³

1. 表面物理与化学重点实验室2. 中国科学院高能物理研究所3. 中国工程物理研究院

摘 要：为了研究Ti-Zr合金薄膜厚度对其结构的影响,通过磁控溅射沉积技术在7105载玻片上制备了不同厚度的Ti-50%Zr（原子分数）合金薄膜。利用X射线衍射（XRD）、X射线吸收精细结构谱（XAFS）和X光电子谱（XPS）技术研究了Ti-Zr合金薄膜的晶体结构、元素局域结构和电子结构状态。结果表明,随着Ti-50%Zr薄膜厚度的减小,薄膜由结晶态变为非晶态,薄膜中元素的最近邻原子距离和配位数减小,薄膜中元素的电子结合能逐渐增强。

关键词：Ti-50%Zr合金;薄膜厚度;薄膜结构;