钛等离子渗氧研究
来源期刊：工程科学学报2002年第1期
论文作者：郑传林 徐重 谢锡善 贺志勇 董建新
文章页码：44 - 46
关键词：辉光放电;离子轰击;渗氧硬化;
摘 要：为了提高钛表面硬度和耐磨性，采用辉光放电等离子渗氧技术对钛进行表面处理．结果表明，渗氧层厚度与氧分压、温度和时间呈明显的对应关系．特别是，在空心阴极辉光放电条件下，离子轰击会加强氧的离子化，促进渗氧，有助于低价态氧化物的形成．在表层所形成的ＴｉＯ其硬度达到或接近ＴｉＮ的硬度水平．
郑传林，徐重，谢锡善，贺志勇，董建新
摘 要：为了提高钛表面硬度和耐磨性，采用辉光放电等离子渗氧技术对钛进行表面处理．结果表明，渗氧层厚度与氧分压、温度和时间呈明显的对应关系．特别是，在空心阴极辉光放电条件下，离子轰击会加强氧的离子化，促进渗氧，有助于低价态氧化物的形成．在表层所形成的ＴｉＯ其硬度达到或接近ＴｉＮ的硬度水平．
关键词：辉光放电;离子轰击;渗氧硬化;
