强制脉冲CVI沉积C纤维表面涂层的工艺研究
来源期刊：无机材料学报2006年第6期
论文作者：黄政仁 江东亮 周清 丁玉生 张翔宇 董绍明
关键词：C纤维; SiC涂层; FP-CVI;
摘 要：以MTS/H2为前驱物,采用强制脉冲CVI(FP-CVI)方法,进行了在C纤维表面沉积SiC涂层的研究,并探讨了其工艺过程.结果表明,在1000～1100℃和(5～25)kPa,沉积得到的β-SiC具有明显的(111)面取向,涂层均匀一致,厚度可控.在实验过程中,随着单次驻留时间和脉冲次数的增加,涂层厚度也随之增加,涂层厚度与脉冲次数成非线性关系.当脉冲次数为300时,C纤维表面沉积SiC层后其质量增加达到36.18%.
黄政仁1，江东亮1，周清1，丁玉生1，张翔宇1，董绍明1
(1.中国科学院上海硅酸盐研究所,上海,200050;
2.中国科学院研究生院,北京,100049)
摘要:以MTS/H2为前驱物,采用强制脉冲CVI(FP-CVI)方法,进行了在C纤维表面沉积SiC涂层的研究,并探讨了其工艺过程.结果表明,在1000～1100℃和(5～25)kPa,沉积得到的β-SiC具有明显的(111)面取向,涂层均匀一致,厚度可控.在实验过程中,随着单次驻留时间和脉冲次数的增加,涂层厚度也随之增加,涂层厚度与脉冲次数成非线性关系.当脉冲次数为300时,C纤维表面沉积SiC层后其质量增加达到36.18%.
关键词:C纤维; SiC涂层; FP-CVI;
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