电感耦合氩等离子体中电子密度及电子温度的测量
来源期刊：分析试验室1989年第5期
论文作者：艾军 金泽祥 陈琳 何应律
文章页码：4 - 8
摘 要：电子密度ne和电子温度Te是描述ICP放电特性的重要参数。本文对ICP中ne和Te的测量从理论上进行了探讨,并根据文献提供的数据,经理论计算,分别与电子密度计算有关的两个系数C（ne,T）和α1/2（ne,T）进行了扩展并编制成表。作者基于ICP—AES的实际测定条件,对不同操作参数下ICP中轴向电子密度ne和电子温度Te进行了测量,其实验结果与文献推荐值一致。
艾军，金泽祥，陈琳，何应律
摘 要：电子密度ne和电子温度Te是描述ICP放电特性的重要参数。本文对ICP中ne和Te的测量从理论上进行了探讨,并根据文献提供的数据,经理论计算,分别与电子密度计算有关的两个系数C（ne,T）和α1/2（ne,T）进行了扩展并编制成表。作者基于ICP—AES的实际测定条件,对不同操作参数下ICP中轴向电子密度ne和电子温度Te进行了测量,其实验结果与文献推荐值一致。
关键词：
