关于电感耦合等离子体辐射和温度的研究

来源期刊：分析试验室1983年第3期

论文作者：傅宏郎

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摘    要：<正> 一、概述电感耦合等离子体(ICP)又称高频感应等离子炬。其工作特点是:(1)用通过感应线圈的高频(约几十兆赫)振荡放电激励;(2)能量按感应耦合的方式自感应线圈传递给等离子体;(3)用高速气流轴向通过感应线圈中心,以获得等离子体射流;同时用沿线圈内侧切向流动的漩涡气流使之稳定。这种等离子炬最早出现在60年代初,在70年代后期得到完善和广泛的应用。为了得到高温的发光等离子体射流,先在高速气流中触发小的电火花,产生带电粒子(电子和离子);