沉积温度对类金刚石涂层表面形貌和性能的影响

来源期刊：机械工程材料2014年第11期

论文作者：纪锡旺 郝俊文 许振华 何利民

文章页码：40 - 45

关键词：直流等离子体增强化学气相沉积技术;类金刚石涂层;沉积温度;

摘    要：采用直流等离子体增强化学气相沉积（DC-PECVD）技术,在不同温度下于YG8硬质合金基体上沉积了类金刚石（DLC）涂层,探讨了沉积温度对DLC涂层结构、表面形貌、厚度、显微硬度、耐磨损性能以及界面结合性能的影响。结果表明:随着沉积温度的升高,DLC涂层中sp3键的比例呈先增大后减小的趋势,并在160℃达到最大,为69%;沉积温度过高将导致DLC涂层出现石墨化;DLC涂层的厚度、显微硬度、耐磨损性能、界面结合力均随沉积温度的升高呈先增大后减小的趋势,当沉积温度为160℃时,涂层表面平整光滑、致密,此时涂层的厚度、显微硬度和界面结合力均达到最大,分别为3.2μm、2 395HV和63N;DLC涂层的显微硬度、抗磨损能力、厚度和界面结合强度随沉积温度的变化规律与sp3键含量密切相关。