类金刚石涂层的研究进展及其应用

来源期刊：粉末冶金工业2015年第5期

论文作者：张而耕 陈强

文章页码：60 - 65

关键词：类金刚石;物理气相沉积;自润滑;元素掺杂;涂层;

摘    要：类金刚石（Diamond-like carbon,DLC）涂层具有良好的减摩、耐磨性能,已成为当前研究的热点。由于受基体材料的成分,以及DLC涂层材料与基体材料的性质不同的影响,制备的涂层内应力较大,与基体的结合力差。添加过渡层,掺杂第三元素和制备多层结构涂层是提高界面结合力与热稳定性的有效措施。介绍了类金刚石薄膜的性质、制备工艺以及在金属加工、汽车零部件、医疗器械、航空航天等领域的应用,展望了类金刚石涂层的应用前景与发展趋势。