等离子物理气相沉积热障涂层研究进展

石佳¹，魏亮亮¹，张宝鹏¹，高丽华¹，郭洪波^1,2，宫声凯^1,2，徐惠彬^1,2

1. 北京航空航天大学材料科学与工程学院2. 高温结构材料与涂层技术工业和信息化部重点实验室

摘 要：等离子物理气相沉积（plasma spray-physical vapor deposition,PS-PVD）是一种最近发展的功能薄膜与涂层制备技术。该技术结合了等离子喷涂（PS）和物理气相沉积（PVD）两种技术的特点,可以实现气、液、固多相的快速共沉积,进行涂层/薄膜微结构的高度柔性加工,并可实现复杂工件遮蔽区域的非视线均匀沉积,在热障涂层、环境障涂层、超硬耐磨涂层、透氧膜和电极膜等领域具有广阔的应用前景,被认为代表了高性能热/环境障涂层制备技术的发展方向。本文综述了PS-PVD的工作原理、技术特点以及近年来国内外在PS-PVD热障涂层制备科学和沉积机理等方面的研究进展,展望了新型高性能热障涂层制备技术的研究热点及未来的发展方向。

关键词：等离子物理气相沉积（PS-PVD）;热障涂层;工艺;沉积机理;