离子轰击温升测量误差分析
来源期刊：东北大学学报(自然科学版)1994年第6期
论文作者：赵云飞 孙树滋 赵旭华
关键词：离子轰击;非晶测温;薄膜电阻;误差;
摘 要：用非晶带温升晶化记录法和铂薄膜热电阻温度计分别测量了镀一层铝薄膜的非晶带在氩离子束轰击下引起的温升与轰击束流功率密度的关系．误差分析表明，薄膜温度计测量的系统误差小，但其方法误差很大；非晶记录法相比之下测量绝对误差较小．从热力学稳态能量守恒出发，给出了Ｐ－Ｔ关系式的近似表达式．
赵云飞，孙树滋，赵旭华
东北大学辽宁省仪器仪表公司
摘 要：用非晶带温升晶化记录法和铂薄膜热电阻温度计分别测量了镀一层铝薄膜的非晶带在氩离子束轰击下引起的温升与轰击束流功率密度的关系．误差分析表明，薄膜温度计测量的系统误差小，但其方法误差很大；非晶记录法相比之下测量绝对误差较小．从热力学稳态能量守恒出发，给出了Ｐ－Ｔ关系式的近似表达式．
关键词：离子轰击;非晶测温;薄膜电阻;误差;
